位敏探测器原理及应用

位敏探测器主要有三种：四象限探测器（QD）、横向效应探测器（PSD）、CCD/CMOS型探测器

图1  四象限探测器和横向效应探测器的几何结构

四象限探测器是一个均匀的硅盘，中间有交叉间隙。因此，有四个相等的光电探测器封装为一个。探测器的中心是交叉状分离产生的交叉点。以检测器为中心的激光束将从每个段产生相等的电流。光束运动将被转换成不同的电流在每个段，并通过处理这些数据，可以计算光束中心的波动。所计算的波动被给定为相对于光束尺寸的运动百分比。了解光束的尺寸可以方便地转化为工程单元。由SpotOn系列提供的软件能完成这些计算

横向效应探测器以类似于四象限探测器的方式工作，其中信息由四个电极递送，每个轴两个，并附着在敏感表面的背面。在这种情况下，四个电流由光吸收产生，并用适当的算法进一步处理以给出x和y位置。

在CCD/CMOS位敏探测系统中，光束位置是通过测量在检测器表面上传递给每个像素的能量来确定的。

位敏探测器PSD应用

    在安装导轨，测量孔心同心，等等跟直线度有关的测量，使用线激光+PSD准直仪，可靠。干涉仪仅仅适用于传动系统的定位精度测量，在直线度，平面度测量方面，要增加很多镜组，软件，调光路也很费时间，得不偿失。