欧美等发达国家进口的电子级材料,如EP级(BA级、AP级)不锈钢管道(Tube,SS316L,SS316,SS304),隔膜阀(Valve),减压阀(Regulater,或称调压阀),过滤器(filter,0.003μm),fitting(Gland,Tee)等等超高纯特殊气体系统中必需采用的各类零部件。
特气设备也得到了广大客户的一致,如特气柜(Gas Cabinet或称钢瓶柜、气瓶柜),气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气体配比箱(Gas Box by Flow Meter),阀门箱(VMB),阀门盘(VMP),气体侦测器(Gas Detector),废气处理器(Scrubber)以及化学品供应机台(CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX),BA管。