上海汉玺电子科技有限公司

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

      1、AE（ADVANCED ENERGY）

      2、RFPP射频电源

      3、MKS/ENI射频电源

      4、AD-TEC射频电源

      5、COMDEL射频电源

      6、DAIHEN射频电源

      7、HUTTINGER射频电源

      8、KYOSAN射频电源

      9、SEREN射频电源

      10、VEECO射频电源

      11、NP射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配)

　　1、ADVANCED ENERGY射频电源匹配

　　2、ASTEX射频电源匹配

　　3、NP(NEW POWER PLASMA)射频电源匹配

　　4、ASTECH射频电源匹配

　　5、SEREN射频电源匹配

　　6、LAM射频电源匹配

　　7、KYOSAN射频电源匹配

　　8、ENI射频电源匹配

　　9、DAIHEN射频电源匹配

　　10、AMAT射频电源匹配

　　11、TRAZAR射频电源匹配

三、高压电源

      1、HiTek Power supply高压电源

      2、ADVANCE HIVOLT高压电源

      3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

      4、GLASSMAN高压电源

      5、SPELLMAN高压电源

      6、Varian高压电源

      7、其他品牌

四、直流电源

　　1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

　　2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

　　3、SORENSEN直流电源

　　4、AMETEK可编程电源

　　5、POWER TEN直流电源

　　6、灯丝电源、X射线电源

　　7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

　　1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

　　2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

　　3、ASTeX Smart Match

六、其它电源

     1、PCB电路板

     2、UPS电源

     3、冰水机CHILLER

     4、磁场电源

     5、开关电源

     6、控制器

     7、离子源

     8、人机界面

     9、汞灯电源