工业废气利用排风设备输入到本设备后，本设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过15m的排风管道排出室外。如需处理的废气成分复杂，需要在本设备前、后加装过滤装置，常见配套设备有活性炭吸附装置、等离子净化器和喷淋塔等。

前期进气要预处理到位，比如喷淋、过滤，等离子等，要保证进气无固定污染物（否则灯管表面附着物过多短波紫外线很难透过），然后让主要有机无机废气成份经过双波段紫外线灯的光解反应区，然后让气体再经过254纳米波长单波段光催化辅助反应区，在这个反应区一是光催化分解，另外更重要的一点是254nm波长紫外线会大量分解掉反应完过量的O3臭氧（困为排放到大气中的O3也是一种污染原），使O3还原成氧气，O3还原成氧气的过程会有大量活气O原子，在光催化的作用上会进一步配合分解反应。同时，如果在末端再加上一至两层臭氧催化网分解掉残余的少量臭氧，这样排放出来的空气则洁净如新。

微波催化氧化技术它可以有效集合传统的填料吸附技术，来提高处理VOCs治理的能力，这种方法的实现，改变了传统解吸治理方式向微波解吸治理方式的转变，极大地提高了治理效果。在治理VOCs过程中，使用微波催化氧化技术，它不仅能够缩短废气的解吸和吸附时间，而且还可以利用这种技术，降低各种能源的消耗和浪费，减少处理费用，提高VOCs的治理能力。现在采用的吸附剂可以连续使用二十次，而且这些吸附剂，在反复使用的过程中，都能够达到好的吸附效果，使VOCs得到彻底的处理。

纳米材料净化技术指的是超细材料，这种超细材料的纳米粒子，由于它的表面积大，吸附能力强，因此，在反应过程中，可以显现纳米材料具有好的催化作用，这些纳米粒子的加入，在处理VOCs的过程中，就能够由于纳米粒子的加入，就可以有效的提高VOCs分解的反应速率，这对于挥发性有机废气的处理具有很大的优势，甚至能够将原来不能反应的物质，也能使它们完全进行。显然，纳米TiO在气态有机污染物治理方面具有优势。这些优势主要是它们表现在光照条件下，就能够激活纳米材料，可以使纳米TiO：把有机物质转化成有机酸、水、二氧化碳等小分子，这样就把污染有机物处理掉了，显然，纳米TiO：的光催化剂，在处理VOCs方面具有很大的发占优势，它可以在降解处理VOCs方面具有很大的优势，在净化空气方面具有很大的能力，因此，它可以使纳米TiO：具有广泛的应用前景。